Aerobar 5635

9 + 14 =

La barre ionisante AeroBar 5635 MP de Simco-Ion a été spécialement développée pour éliminer les charges électrostatiques dans la production de semi-conducteurs et d'autres processus de salle blanche où des temps de décharge rapides, de faibles fluctuations de tension et un équilibre exact sont nécessaires.

Le 5635 utilise la technologie MP, qui combine une onde sinusoïdale à haute fréquence avec des impulsions modulées pour une sortie d'ions élevée. Cette technologie permet à l'AeroBar 5635 d'être monté à 150 mm de la plaquette. La combinaison de la technologie MP, de pointes émettrices en silicium extrêmement propres et d'un réglage fin précis répond aux exigences de la classe ISO 1 étendue.

Pour les processus qui ne nécessitent pas une propreté extrême, l'assistance d'air en option accélère la sortie des ions pour des temps de décharge plus rapides et des performances d'ionisation sur de plus longues distances. La technologie MP est facile à régler et offre la possibilité d'ajuster la tension, la fréquence et l'équilibre pour différents environnements et besoins de sensibilité du produit. Les barres d'ionisation sont disponibles avec un espacement des émetteurs de 50 mm et 75 mm. L'AeroBar 5635 MP est la solution pour de nombreuses applications différentes.

propreté
L'AeroBar 5635 MP est conforme à la norme ISO 14644-1. Des mesures à long terme sur 5 mois ont montré que l'AeroBar 5635 MP répond aux exigences de la classe ISO 1 étendue, ce qui en fait la barre d'ionisation corona la plus propre du marché.

installation facile
La barre ionisante AeroBar 5635 s'installe rapidement en se branchant simplement sur une source d'alimentation 24 V CC. Si un support aérien est souhaité, il doit être connecté à une conduite d'air. Pour activer les réglages d'usine pour une décharge de base, réglez les commutateurs DIP comme défini dans le manuel d'utilisation. Les utilisateurs peuvent ensuite affiner les paramètres de contrôle sur la baguette ou utiliser le logiciel facile à utiliser pour définir l'équilibre optimal, l'oscillation de tension et les temps de décharge.

Une sortie d'alarme dans le boîtier de connexion permet la connexion à la commande de la machine ou à l'ordinateur central avec évaluation FNS.

Contrôleur de débit à la demande en option
Le 5600 DFC en option est une solution facile à intégrer et économique pour contrôler l'alimentation en air et en électricité de l'AeroBar. Il permet à l'utilisateur d'allumer et d'éteindre rapidement l'ioniseur pour les applications où l'ionisation n'est nécessaire que sporadiquement.

Détail

Les caractéristiques :

  • Classe ISO 1 étendue (lors de l’utilisation du préréglage optimisé sans assistance aérienne)
  • Technologie d’impulsion modulée
  • Basses tensions de champ
  • Appui aérien
  • Logiciel en option avec une interface conviviale et de nombreuses options de réglage
  • Signal de sortie d’alarme

Avantages :

  • Compatible avec tous les nœuds de technologie de plaquette, y compris 22 nm et moins
  • Équilibre uniforme sur l’AeroBar
  • Placement sécurisé 150 mm de plaquette ou de masque
  • Neutralisation améliorée de la charge statique à grande vitesse
  • Remplacement rapide de l’émetteur pour des temps d’arrêt courts
  • Démarrage rapide et optimisation facile dans n’importe quel environnement
  • Communication vers l’outil ou le système de surveillance

Options :

  • Contrôleur de débit 91-5600-DFC
  • Boîte de jonction 33-21491
  • Boîte de distribution 24V 33-25625

Données techniques

Distance effective 250 – 2000 mm
Tension de fonctionnement 24 V CC / 9,5 -13,5 kV A, 1 – 33 Hz
Courant de fonctionnement 0,7 mA
Courant de court-circuit par émetteur < 15 µA
Équilibre ionique ± 20 V
Température ambiante 15 – 35°C
Humidité 30-60% sans condensation
Longueur 450 – 2350mm
Homologation ISO 3, CE, UL
Bloc d’alimentation 33-5701-01 pour 100 – 230 V CA, 50/60 Hz
LED d’état haute tension
Fonctionnement ON Vert
Alarme OFF Rouge