Aerobar 5225

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L'AeroBar 5225 contrôlé par logiciel a été développé par SIMCO-ION pour les applications d'ionisation dans l'outil les plus exigeantes.

La sortie élevée d'ions garantit une neutralisation rapide de la charge électrique sur les tranches. Les exigences les plus strictes des fabricants de semi-conducteurs peuvent être satisfaites.

La conception aérodynamique de l'AeroBar 5225S et les matériaux compatibles avec les salles blanches permettent une ionisation complète et efficace dans les petites zones et les salles blanches sans perturber le flux d'air laminaire.

Un capteur numérique surveille et contrôle la puissance d'ionisation sur la plaquette (rétroaction en boucle fermée). Dans le même temps, les intervalles d'étalonnage et de maintenance sont allongés.

L'AeroBar est facile à intégrer dans votre outil. Le logiciel utilise soit des routines précompilées, soit des exemples de code open source. L'intégration transparente avec les interfaces d'outils signifie une solution rentable à l'ionisation en plus des avantages de coûts de maintenance réduits et d'une meilleure gestion des alarmes. Les avertissements et messages du système sont affichés sur les commandes de l'outil. Alternativement, une sortie d'alarme FMS est disponible.

Intégration facile

Le logiciel spécialement développé par SIMCO-ION facilite l'intégration dans vos systèmes. Trois composants différents sont disponibles pour répondre au mieux à vos besoins :

Un guide de programmation (API) entièrement documenté minimise le temps et les coûts d'intégration.
Un exemple d'application open source en Visual C/C++ fournit un exemple à utiliser lors du développement de votre logiciel de contrôle de moules, ou peut être utilisé comme application autonome sur votre contrôle de moules ou votre ordinateur portable.
Un simulateur matériel d'ioniseur permet un développement logiciel facile sans que le matériel ne soit présent.
Le logiciel puissant de SIMCO-ION offre un contrôle complet sur le système d'ionisation. Les paramètres incluent les modes de fonctionnement (y compris DC pulsé, DC en régime permanent ou veille), la synchronisation, les temps de marche, les temps de verrouillage, les niveaux de sortie actuels et les seuils d'alarme pour les émetteurs positifs et négatifs avec un contrôle indépendant sur chaque aérobar. La détection sophistiquée des alarmes et de la maintenance réduit les temps d'arrêt et les efforts de diagnostic.

rétroaction en boucle fermée

Le capteur numérique SIMCI-ION modèle 5200-SR améliore la surveillance des performances d'ionisation dans les environnements fermés et ajuste automatiquement la fuite d'ions en fonction des données détectées par le capteur. Ce capteur est le seul produit de ce type à créer un système d'ionisation en boucle fermée. Les wafers sont toujours à l'abri de l'électricité statique car la puissance d'ionisation est constamment surveillée et contrôlée avec des réglages optimaux.

Détail

Propriétés :

  • Intégration complète dans le système de contrôle d’outils
  • Paramètres entièrement réglables pour chaque AeroBar
  • Surveillance du courant ionique
  • Différentes longueurs dont trois longueurs spécialement conçues pour les EFEM
  • Sortie d’alarme FMS
  • Embouts émetteurs en silicium monocristallin

Avantages :

  • Réglage, fonctionnement et maintenance contrôlés par logiciel
  • Ajuster l’ionisation pour les processus individuels dans chaque zone de l’outil
  • Sortie d’ions contrôlée et performances stables
  • Matériau de l’émetteur extrêmement propre, sans risque de contamination de la plaquette par le dopage ou les ions métalliques

Données techniques

Distance effective 250 – 2000 mm
Tension de fonctionnement 24 V AC 50/60 Hz 0 – 20 kV DC
Courant de fonctionnement 40mA
Courant de court-circuit par émetteur < 15 µA
Ion – Balance +/- 10 V
Température ambiante 16 – 35°C
Humidité 40-65% sans condensation
Longueur 558 – 2133mm
Homologation CE, ISO 1
Alimentation 91-5200-IM6T pour 100 à 240 V CA
LED d’état haute tension
fonctionnement pos./nég. actif (après réglage) ON Rouge gauche et droite
Alarme / Veille OFF 1 * Rouge clignotant
Communication via IR ON 2 * Rouge clignotant
Communication filaire ON 3 * Rouge clignotant